无氧烘箱应用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷资料烘干的特别工艺技术要求，合适半导体制作、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精细模具退火等职业的无氧化枯燥烘烤工艺要求。

  首要经过空气过滤器来净化环境,防止空气中的细微颗粒物进去箱内。箱内空气关闭自循环，经100级耐高温高效空气过滤器重复过滤，使作业室内处于无尘状况。无尘烘箱适用于半导体制作中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等资料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等出产及科研部门。

  高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至500ppm的气氛中在高达500℃的温度下进行热处理。这使得该系列很合适 MLCC和LTCC 脱脂，以及各类抗氧化热处理。一起选用由冷却水循环的外部冷却组织，能够在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，然后缩短处理时刻。

  高温高真空烘箱枯燥会下降沸点，能够适用于枯燥加热灵敏资料（包含粉末）以提取水分，将水以外的化合物的丢失降至最低。一起结合加热与真空环境，能够对资料来预热添加资料流动性，然后在环境低压状况能够适用于资料脱除气泡工艺。

  无氧洁净地道炉能够在氧气浓度低至 100ppm 的气氛中，坚持100级洁净度，最高加热温度可达 300℃ 的温度，并完成多温区烘烤产品。很合适精细元器件晶圆，晶振退火，环氧树脂固化等热处理。接连式出产的形式，能够与前后工艺的自动化设备联动，完成自动化出产。

  怡和兴具有强壮定制化服务才能，可定制每一种标准或用处的防潮柜，完成用户对高精度，设备监控及数据收集等功能需求，为客户进步出产功率并树立牢靠的评价系统。